阿斯麥公司在發給路透社的聲明中表示，該公司“從未向中國發運過EUV設備，也未曾向中國發運過任何專門設計用於EUV設備的組件、模組或設備。”
先前彭博社報道稱，美國商務部長盧特尼克在一系列會議上向阿斯麥高層表達了擔憂，稱該公司一款先進的極紫外光刻機可能已經流入中國，這違反了美國主導的出口限制。
報告引述美國官員稱，他們掌握有證據，證明阿斯麥曾向中國出口用於運輸EUV的專用設備，以及其他可用於EUV的組件，但這些出口證據過於敏感，無法披露。
阿斯麥最先進的EUV光刻系統重達180噸，體積相當於一輛中型客車。
阿斯麥表示，已駁回有關其違反針對中國的出口管制
規定的指控，並補充稱，公司「始終根據出口管制的任何變化調整業務，以符合各項新規」。
荷蘭外交部在電子郵件聲明中表示：“在半導體製造設備的出口方面，荷蘭依據歐盟《兩用物項條例》及本國額外採取的措施，遵循明確的規則和管制清單進行管理。”
EUV“無法拆除、運輸和重新安置”
今年4月，美國國會提出一項法案，要求荷蘭和日本等盟友遵守美國出口管制措施，以防止中國取得先進晶片製造設備。這項法案在EUV對華全面禁售的基礎上，將浸沒式深紫外光刻機（DUV）等設備也納入全面限制。
阿斯麥今年1月預計，該公司今年在中國市場的銷售額佔比為20%，較去年的33%大幅減少。以中國海關總署的數據統計，中國今年首季從荷蘭進口的光刻設備年減24.3%。
知情者對彭博社透露，在4月與盧特尼克會面後，阿斯麥公司起草了一份題為「無跡象表明中國境內存在任何阿斯麥EUV」的文件。
文件稱，目前全球共有314台EUV光刻機在運行，26台已退役，而中國境內沒有任何一台；阿斯麥能夠自動檢測其EUV產品組合中的“任何中斷、異常行為或連接中斷”，並且由於“特殊操作規程”，客戶“未經阿斯麥參與，無法拆卸、運輸和重新安置EUV”。
路透社去年12月報告稱，中國科學家已開發出極紫外光刻設備原型機，該設備由阿斯麥前工程師組成的團隊打造；這項計畫被形容為中國版的「曼哈頓計畫」。
華客|新聞與歷史：已有證據？美方憂心：這一頂尖設備已流入中國
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